德國Kleindiek微操縱儀
德國Kleindiek Nanotechnik超微操縱儀的驅(qū)動單元是由壓電陶瓷構(gòu)成的納米馬達(dá)，因此它最大的特點(diǎn)是能夠進(jìn)行納米級精確移動，也可以同時做到毫米級的移動范圍，整個操縱裝置全部由納米馬達(dá)驅(qū)動，從而保證了系統(tǒng)體積非常小，可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內(nèi)。
德國KleindiekNanotechnik生產(chǎn)的納米顯微操縱儀的突出特點(diǎn)：
納米操縱精確度：安裝在MM3A操縱臂前端的鎢探針在X，Y方向最小移動距離為5nm，在Z方向最小移動距離為0.5nm。
快慢可調(diào)的操作速度：可以選擇一個步進(jìn)0.5nm，也可以選擇最大移動速度1cm/S。MM3A將大范圍和超精細(xì)操作完美地結(jié)合在一起。
緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：MM3A體積小，可以很寬松地在電鏡腔室內(nèi)安裝1~8個系統(tǒng)。
三維大空間操作范圍：X、Y方向可以做240度的旋轉(zhuǎn)，Z軸方向做12mm的伸長，MM3A可操作的空間范圍最大達(dá)100cm3。
幾乎無漂移：我們曾經(jīng)做過實(shí)驗(yàn)MM3A鎢探針針尖在場發(fā)射電鏡放大100K條件下每隔一分鐘拍一張照片，持續(xù)一小時后通過對照片的分析得出，在排除電鏡電壓不穩(wěn)定因素外，MM3A幾乎不產(chǎn)生漂移。
與電鏡的連接：MM3A安裝在加工好的平臺上，該平臺再固定在電鏡的樣品臺上，整個安放過程十分方便，幾分鐘就可完成，不使用時將平臺卸下取出既可。控制線通過電鏡腔室上的空法蘭穿出并密封，不會影響電鏡的真空。
技術(shù)參數(shù)：
Length/Width/Height60/22/25mm
OperatingrangeXY/Z240°/12mm
ScanrangeX/Y/Z20/15/1µm
MaxSpeedXY/Zupto10/2mm/s
ResolutionX10-7rad(5nm)
ResolutionY10-7rad(3.5nm)
ResolutionZ0.25nm
HysterisisdeviationZ<200nm
HysterisisAngle(α)Z<10°(0.2rad)
Lowesttemp273K
Highesttemp353K
Lowestpressure10-7mbar
Holdingforce1N
Holdingtorque3Nmm-4Nmm
LiftY5g
Signalresistance(probing)7.0Ω
Maxvoltage(probing)100V；Maxcurrent（probing）100mA
測量材料電學(xué)性能
在掃描電鏡中操作，進(jìn)行斷裂試驗(yàn)，微焊接
移動納米級微小顆粒
半導(dǎo)體失效分析
光闌定位儀
作為SPM用在SEM中
