匹配器對(duì)等離子清洗機(jī)放電有什么影響
時(shí)間:2021-07-03 14:34
等離子清洗機(jī)不放電或放電不穩(wěn)定的原因常常是等離子體發(fā)生器阻抗匹配問題。在等離子體發(fā)生器能量傳輸過程中，如果反應(yīng)腔、電極阻抗和傳輸線的特征阻抗不相等，在傳輸過程中很容易形成反射，有些能量會(huì)由于加熱等方式而丟失，而不是被負(fù)載吸收，這樣就會(huì)直接影響等離子體表面處理的效果。所以昭沅儀器小編提醒大家匹配器對(duì)于等離子清洗機(jī)至關(guān)重要。
1、反應(yīng)腔，電極和等離子發(fā)生器之間的橋梁。
阻抗配器可作為等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔、電極、等離子發(fā)生器之間的橋梁。為了保證高頻放電回路中放電區(qū)域用電保護(hù)振蕩器，通常需要在高頻電源和等離子腔、電極之間設(shè)置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)，根據(jù)放電條件的不同來調(diào)整，使高頻發(fā)生器的輸出阻抗與負(fù)載阻抗相匹配，使等離子清洗機(jī)放電穩(wěn)定，工作效率高。
2、阻抗匹配是如何工作的？
對(duì)于一條有負(fù)載的直流電路，負(fù)載匹配的條件是外電路的負(fù)載電阻必須等于電源的內(nèi)阻。這種Z大功率的直流回路定理實(shí)際上也存在于相應(yīng)的交流回路中。
實(shí)際上，對(duì)于在控制回路中流過的太大的高頻電流，高頻發(fā)生器的輸出阻抗通常設(shè)計(jì)為純電阻，阻值一般為50Ω。但是高頻放電阻抗一般是電容阻抗，它的值會(huì)隨著等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔放電條件的變化而波動(dòng)，這就需要對(duì)匹配網(wǎng)絡(luò)的阻抗和放阻抗進(jìn)行調(diào)整，使加合后模擬負(fù)載的阻抗與高頻發(fā)生器的輸出阻抗相一致，從而達(dá)到匹配的目的。
3、影響等離子清洗機(jī)匹配效果的幾個(gè)主要因素
等離子清洗機(jī)的匹配必須與等離子體發(fā)生器匹配，而不能與大功率的等離子體發(fā)生器匹配，為了使等離子體清洗機(jī)能達(dá)到良好的匹配效果，還需注意以下幾點(diǎn)。
在等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔和電極的設(shè)計(jì)過程中，要充分與配用者充分溝通相關(guān)技術(shù)參數(shù)，以滿足配用者的匹配要求；
安裝匹配器時(shí)，應(yīng)盡可能靠近等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔和電極安裝匹配器，以縮短連線，減少功率損耗；
氣體流量、真空度、處理產(chǎn)品的材料和處理數(shù)量等因素都可能影響阻抗匹配，昭沅儀器小編建議需要根據(jù)實(shí)際情況對(duì)等離子清洗機(jī)進(jìn)行調(diào)整。
