真空等離子清洗機(jī)的真空泵怎么選（二）
時(shí)間:2021-07-03 15:52
之前說到旋片式真空泵是一種常見的真空泵，那它的優(yōu)勢(shì)都有哪些呢？
第一、旋片式真空泵在抽除腔體內(nèi)的干燥氣體的同時(shí)，也可以抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物；
第二、構(gòu)造相對(duì)簡(jiǎn)單，維修保養(yǎng)起來便捷；
第三、體型小、重量比較輕，有利于安裝挪動(dòng)；
第四、震動(dòng)很小，噪音低；
第五、價(jià)格相對(duì)低一些。
2、干式真空泵
干式真空泵是無油干式機(jī)械設(shè)備真空泵的通稱。干式真空泵不是用油、水或其他高聚物等液體當(dāng)做工作介質(zhì)的一種真空泵。那樣促使干式真空泵在潔凈度等級(jí)層面更強(qiáng)，避免了油污染，因此 干式真空泵大多數(shù)用在對(duì)潔凈度等級(jí)規(guī)定較為高的真空等離子清洗機(jī)上。例如半導(dǎo)體材料行業(yè)、生物醫(yī)療行業(yè)及其航空航天行業(yè)等。在真空等離子清洗機(jī)上常見的一種干式真空泵便是干式螺桿真空泵。
2-1干式螺桿真空泵
干式螺桿真空泵是運(yùn)用一對(duì)擠出機(jī)螺桿，在真空泵殼中作同步髙速反方向轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而產(chǎn)生相互作用力來完成吸氣和排氣作用的真空泵。由于干式螺桿真空泵在工作時(shí)，彼此之間無摩擦，運(yùn)行穩(wěn)定，噪音低，因此 在工作腔無需潤(rùn)滑脂。
干式螺桿真空泵是一款特性出色的干式真空泵，具備很多比別的真空泵好的方面：
第一，干式螺桿真空泵的極限真空值很高，最大極限真空泵可做到1-2Pa；
第二，干式螺桿真空泵特性平穩(wěn)，噪音低，返修率低，維護(hù)保養(yǎng)簡(jiǎn)單；
第三，干式螺桿真空泵的一種工作腔和擠出機(jī)螺桿電機(jī)轉(zhuǎn)子表層均有防腐蝕鍍層，可適應(yīng)極端工作狀況。
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